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陶瓷加工，精密陶瓷，多孔陶瓷，應用: AlN氮化鋁，Al₂O₃氧化鋁，ZrO₂氧化鋯，SiC碳化矽，Si₃N₄氮化矽
子申應材陶瓷加工產品系列主要應用於耐磨損、耐腐蝕、耐高溫、耐電漿衝擊、高純度，高導熱，散熱，低汙染，嚴苛要求之使用場合。客戶端應用為晶圓，半導體，封裝測試，ＬＥＤ，太陽能，LCD，TP，光電產業之晶圓載盤，載具，傳動元件及設備耗材。Ex:MOCVD， MOPVD， CMP， Etching， Thin film，黃光， 顯影，封裝測試，RTP快速升溫退火，等製程應用。
各式精密陶瓷加工，多孔陶瓷，陶瓷軸承。
材質: Aluminum Nitride，氮化鋁 ，Aluminum Oxide，氧化鋁 ， Silicon Carbide，碳化矽 ，Zirconia，氧化鋯 ，Silicon Nitride，氮化矽。
AlN Subatrate ，AlN Layer ，AlN Nozzle ，氮化鋁陶瓷基板，載盤，噴嘴
標準尺寸:4.5 x 4.5", 4 x 4", 3 x 3", 2 x 2", 4" ，6"，8" wafer type
厚度:2.0,1.0, 0.635, 0.5, 0.38, 0.25mm
SiC Substrate for Diamond Disk
碳化矽陶瓷研磨環，RTP快速升溫退火爐用，多孔陶瓷
SiC AlN Holder，Grinding plate
氮化鋁陶瓷墊片，氮化鋁絕緣片
SiC Al₂O₃， Al₂O₃
氧化鋁發泡隔熱耐火材
比重0.8~1.6供客戶選擇,高純度輕量化
SiC ZrO₂，Bonding stage
氧化鋯封裝測試載台
SiC MOCVD, MOPVD, Components
各式陶瓷精密件
Porous SiC 6inch Carrier
SiC多孔陶瓷晶圓載盤
軸承常用材質基本性能
| 性能 | 單位 | GCr15(軸承鋼) | 9Cr18(不銹鋼) | Si₃N₄(氮化矽) | ZrO₂(氧化鋯) | SiC(碳化矽) | Al₂O₃(氧化鋁) | AlN氮化鋁 | BN(氧化硼) | Glass(玻璃) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 密度 | g/cm³ | 7.8 | 7.9 | 3.3 | 6 | 3.2 | 3.9 | 3.2 | 2 | 2.5 |
| 熱膨脹 | 10-⁶ /℃ | 11 | 17 | 2.3 | 6 | 3.2 | 3.9 | 3.2 | 2 | 2.5 |
| 彈性模量 | GPa | 208 | 200 | 370 | 200 | 410 | 370 | 340 | 62 | 70 |
| 泊松比 | (Poission's ratio) | 0.3 | 0.3 | 0.24 | 0.23 | 0.19 | 0.26 | 0.25 | 0.13 | 0.2 |
| 硬度 | (Kgf/mm²) | 1300 | 1200 | 1500 | 1400 | 2300 | 1600 | 1200 | 200 | 1000 |
| 抗拉強度 | MPa | 2400 | 2600 | 524 | 700 | 400 | 262 | 400 | 41 | 0 |
| 抗壓強度 | MPa | 9000 | 7800 | 2500 | 1850 | 3900 | 2600 | 2070 | 143 | 1100 |
| 破裂韌性 | (MPa·m*m0.5) | 13.5 | 14 | 7.7 | 9.5 | 4.6 | 3.6 | 2.6 | - | 1 |
| 熱導率 | W/mK | 30-40 | 15 | 27 | 2.5 | 126 | 28 | 170 | 30 | 1.5 |
| 比熱 | J/KgK | 450 | 450 | 800 | 400 | 700 | 880 | 730 | 1850 | 740 |
| 使用溫度 | ℃ | 120 | 150 | 1000 | 800 | 1200 | 1400 | 1800 | 1150 | 85 |
| 耐腐蝕 | 無 | 弱 | 強 | 強 | 強 | 強 | 強 | 強 | 強 | |
| 磁性 | 有 | 有 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | |
| 尺寸穩定性 | 差 | 差 | 好 | 好 | 好 | 好 | 好 | 好 | 好 | |
| 絕緣性 | 不絕緣 | 不絕緣 | 好 | 好 | 好 | 好 | 好 | 好 | 好 |
Si₃N₄ Data Sheet，氮化矽特性表
Characteristic Values
| Item | Unit | Si₃N₄ | ||
|---|---|---|---|---|
| color | - | - | Gray | |
| Bulk density | - | g/cm³ | 3.22 | |
| Surface roughness Ra | - | ㎛ | 0.4 | |
| Mechanical | Bending strength | 3-point method | MPa | 800 |
| Modulus of elasticity | - | GPa | 310 | |
| Vickers hardness | - | GPa | 15 | |
| Fracture toughness | IF method | MPa∙√m | 6.5 | |
| Thermal | Coefficient of thermal expansion | 40-400℃ | 10⁻⁶/K | 2.6 |
| 40-800℃ | 3.1 | |||
| Thermal conductivity | 25℃ | W/(m∙K) | 85 | |
| 300℃ | - | |||
| Specific heat | 25℃ | J/(kg∙K) | 680 | |
| Dieletric constant | 1MHz | - | 7.8 | |
| Dieletric loss factor | 1MHz | 10⁻³ | 0.4 | |
| Volume resistivity | 25℃ | Ω∙cm | >10¹⁴ | |
| Breakdown strength | DC | kV/mm | >15 | |
General Dimenslon
| Item | Unit | Specification |
|---|---|---|
| Standard Size | inch | 5.5"x7.5" |
| Tolerance | ±1.0% NLT:±0.1mm | |
| Thickness | mm | 0.25~0.635 |
| Tolerance | ±1.0% NLT:±0.04mm | |
| Warpage | mm | 0.002/mm |
AlN Data Sheet，氮化鋁特性表
| 性能內容 Property Content | 性能參數 Property Index |
|---|---|
| 體積密度 Density (kg/m³) | ≧3.20 |
| 吸水率 Water absorption % | 0 |
| 線膨脹係數 Linear expansion coefficient (RT-500℃)(10⁻⁶mm/℃) | 4.4 |
| 體機電阻率 Bulk resistivity(Ω∙m) | ≧10¹⁴ |
| 介電常數 Dielectiric constant[1MHz] | 9.0 |
| 介質損耗 Dissipation factor[1MHz] | 3x10⁻⁴ |
| 抗電強度 Dielectiric strength(KV/mm) | 15 |
| 抗彎強度 Flexural strength(MPa) | ≧330 |
| 楊氏模數 Yang's Modulus(GPa) | 310~320 |
| 熱導率 Thermal conductivity[20℃ W/m∙k] | >180 |
| 莫氏硬度 Mohs hardness | 8 |
| 表面粗糙度 Surface finish Ra(㎛) | 0.1~0.5 |
| 翹曲度 Camber(~25/length) | 0.03~0.04 |
| 熔點 Melting point(℃) | 2500℃ |
| 顏色 Color | 灰白 |
| 外觀 Appearance | 緻密、細晶 |
接受各式尺寸訂製，歡迎洽詢。Mail:sales@chosen.tw
ESD Al₂O₃ Data Sheet，抗靜電氧化鋁特性表
| 抗靜電陶瓷物理特性表 Characteristic Values |
||
|---|---|---|
| ITEM | UNIT | DATA |
| Al₂O₃ | % | 80 |
| SiO₂ | % | 2.6 |
| Na₂O | % | 3.6 |
| lg-loss | % | 1.4 |
| Apperance | Black | |
| Fired Density | 1.0 ton/cm² | 3.58 |
| Modulus of Elasticity | GPa | 340 |
| Flexural Strengh | MPa | 280 |
| Volume resistivity | Ω∙cm | 10⁶⁻⁹ |
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